Titanium smeed round doelwit

Titanium doel is het product van titanium met hoge zuiverheid na verwerking en is gemaakt van dunne film door fysieke dampafzetting. Gebruikt als barrièrelaag voor aluminium draden in halfgeleiderchips.

1. Hoofdprestatievereisten van titanium doelwit

(1) Uiterlijk kwaliteit: voordat de fabriek wordt verlaten, moet het titaniumdoel zonder stof worden gereinigd en moet het oppervlak schoon zijn. Na het voltooien van het oppervlak van het titaniumdoel moet de oppervlakteruwheid voldoen aan de vereisten van klanten.

(2) Interne defecten: er mogen geen insluitsels, poriën, scheuren en andere defecten in het titaniumdoel zijn.

(3) Samenstelling: het titaniumdoel is verdeeld in puur titaniumdoel en legeringdoel, legeringdoel inclusief titanium aluminium legeringdoel, titanium nitride doelwit, titaniumlegering boride doel, enz. De zuiverheid van het doelmateriaal is 99,9%-99. 999%.

(4) Korrelgrootte: titaniumdoelkorrels zijn uniform en fijn, en het gemiddelde korrel wordt in het algemeen geregeld om minder dan 50 μm te zijn.

(5) Textuur: de kristaloriëntatie van titaniumdoelstelling<002>heeft de voorkeur en groter dan of gelijk aan 35%.

(6) Geometrische grootte: de grootte van het titaniumdoel varieert afhankelijk van de gebruikseisen en de diameter is in het algemeen 200-460 mm.

Titaniumdoelen kunnen worden onderverdeeld in enkele titaniumdoelen en gelaste titaniumdoelen volgens hun structuur. Het titanium doelwit hoeft niet te worden gelast en de billetverwerking is geïntegreerd. Gelaste titaniumdoel is om het titaniumdoel leeg te lassen met het backplane, de gemeenschappelijke lasmethoden omvatten het solderen en diffusielassen. Backplanmaterialen van lassen omvatten koper- en koperen legering backplane, aluminium en aluminiumlegering backplane, enz. Na het lassen wordt ultrasone detectie gemaakt om ervoor te zorgen dat het verband tussen het doelwit en het backplane een bepaalde bindingssterkte heeft om problemen te voorkomen zoals vallen en kraken tijdens sputtering. Tabel 9-23 beschrijft de vereisten van de laskwaliteit voor titaniumdoelen.

2. Bereiding van titanium doelwit

Het pure titaniumdoel wordt in het algemeen bereid door het hete persenproces van het smelten van ingot. Het doel van de titaniumlegering werd bereid door poedermetallurgie.

Het hete persenproces is gebaseerd op de hoge zuiverheidstitanium ingot verkregen van smelten. De microstructuur en de vorm en grootte van de billet worden geregeld door smeed-, rollen, gloeien en andere plastic verwerkingstechnologie, en vervolgens wordt de knuppel bewerkt om het titaniumdoel te bereiken. Na het smeed-, rollende en gloeiproces heeft het titaniumdoel een fijne en uniforme korrel en superieure textuur, die kan voldoen aan de vereisten van het titaniumdoel in het sputterproces. Het verlies in de smeltverwerking is groot, inclusief het verlies in het smeltgietproces, het verlies in het smeden- en rolproces omdat de oxidepeel moet worden gedraaid en het verlies in de snijverwerking ook aanwezig is, dus het uiteindelijke gebruikssnelheid is ongeveer 80%.

Voor TIB2, TIAI en andere legeringsdoelen is het gemakkelijk te kraken tijdens het smeden, en het is meer geschikt voor poedermetallurgie -verwerking, dat wil zeggen, titaniumpoeder en additieven worden gebruikt als grondstoffen, door het poedermixproces, en vervolgens wordt de billet verwerkt met hete druk of hete isostatische drukkracht en het titanium -alloeg. Poedermetallurgie is de voorkeursmethode voor het bereiden van titaniumlegeringdoelen omdat het tegelijkertijd leeg kan vormen, een hoog materiaalgebruiksnelheid heeft en gemakkelijk legeringselementen kan toevoegen. De problemen van poedermetallurgie zijn de zuiverheid van het materiaal, de uniformiteit van de legeringsamenstelling en de dichtheid. Materiaal interne defecten en andere aspecten van de controle -eisen zijn hoog.

Het werkende principe van titaniumdoelen is gerelateerd aan een reeks fysische en chemische reacties en wordt veel gebruikt in fysische dampafzetting (PVD), waaronder magnetronsputteren, sputtering van ionenbundel en andere methoden. In deze methoden zijn titaniumdoelen een belangrijke grondstof.

 

Populaire tags: Titanium smeden ronde doelwit, China titanium smeden ronde doelfabrikanten, leveranciers, fabriek